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详细内容

晶圆级芯片封装外观缺陷检测

项目背景:


国内知名的芯片封装制造商,需要将其中一款产品的光学面和BGA面进行品质管控,包括玻璃面污染检测,刮伤检测,裂纹检测,锡球瑕疵检测,线路短路检测,线路断路检测等。德斯戈提供的检测解决方案,采用显微成像硬件系统,实现高分辨率成像,针对锡球的瑕疵采用结构光成像,结合传统算法和深度学习技术,将复杂背景下的表面瑕疵检测有效检测出来,提升检出率的同时降低了误报率。


客户需求:


晶圆级芯片封装外观缺陷检测

玻璃面、锡球面外观缺陷检测:
1、污染检测

2、碎屑检测

3、锡球检测

4、线路短路、断路检测

5、异物检测


解决方案

检测

——复杂背景检测


复杂背景检测


通过了解目标区域的各种外观,分割缺陷或其他感兴趣的区域,来了解物体的正常外观(包括其显著但可容忍的变化),通过深度学习算法,查找视野中的复杂特征和对象,学习正常的零件差异,同时全面地理解缺陷,用于表面缺陷和异类检查,解决零件复杂背景下定位、装配验证、缺陷探测、分类和光学字符识别应用问题。

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测量

——双目结构光


双目结构光测量


超高精度测量,可以极其精确地绘制出目标物的形状。通过呈现“真实形状”,从而实现精确的尺寸测量和外观检测。双目结构光扛环节干扰能力强,可靠性强,应用领域有:芯片平面度和针脚缺陷检测、BGA高度和缺陷检测等。


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验证效果:


一、玻璃面检测结果:


1.内污染检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

内污染检测


2.内污染检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

内污染检测


3.玻璃碎屑检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

玻璃碎屑检测


4.玻璃碎屑外污染检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

玻璃碎屑外污染检测


二、锡球面检测结果:


1.锡球缺失检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

锡球缺失检测


2.线路损坏检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

线路损坏检测


3.线路短路检测,线路断路检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

线路短路检测,线路断路检测


4.线路短路检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

线路短路检测


5.BGA面异物检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

BGA面异物检测


6.线路断路检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

线路断路检测


7.线路短路检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图


8.SMF缺失检测

左边为不良品图像采集,右边为测试结果图

SMF缺失检测



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